1981 年，立陶宛人Va s ilie v成功構(gòu)造了一種可以驅(qū)動(dòng)較大負(fù)載的超聲電機(jī)，這種電機(jī)由Langevin振子組成的換能器作為定子，激發(fā)振動(dòng)片的縱向振動(dòng)，通過與轉(zhuǎn)子間的摩擦來驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)。該結(jié)構(gòu)不盡降低了電機(jī)工作頻率，且能放大振幅，被用來驅(qū)動(dòng)唱片機(jī)轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)動(dòng)，成為當(dāng)時(shí)被應(yīng)用于實(shí)際的作動(dòng)器。
 
1982年，日本的Sashida在Va s iliev的基礎(chǔ)上，提出并制造了駐波型超聲電機(jī)，這種電機(jī)的性能次滿足了實(shí)際使用需要，但也存在著問題，接觸表面上存在嚴(yán)重磨損。為解決這個(gè)問題，在1983年Sashida又提出并制造了另一臺(tái)行波型超聲電機(jī)。這種超聲電機(jī)大大降低了定、轉(zhuǎn)子接觸面上的磨損，它的研制成功為超聲電機(jī)走向應(yīng)用開辟了道路。

 
1985年，日本的Kumada研制了臺(tái)單相驅(qū)動(dòng)具有耦合器的縱扭復(fù)合型超聲電機(jī)。1987年，松下公司的Ishe等在此基礎(chǔ)上提出了環(huán)形行波超聲電機(jī)，該電機(jī)大幅提升了工作效率。同年，Sashida創(chuàng)立了Shinsei公司，致力于將超聲電機(jī)產(chǎn)業(yè)化、商品化；Canon公司在其產(chǎn)品EOS相機(jī)的鏡頭自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)中植入了自行研制的環(huán)形行波超聲電機(jī)，這些都標(biāo)志著超聲電機(jī)從研究階段進(jìn)入到實(shí)用階段。
 
自超聲電機(jī)被產(chǎn)品化后，對(duì)于這種嶄新理念的微特電機(jī)人們投入了大量研發(fā)熱情，大量基于不同原理和結(jié)構(gòu)形式的超聲電機(jī)隨之產(chǎn)生。我國(guó)針對(duì)超聲電機(jī)的研究工作開展于20世紀(jì)90年代，清華大學(xué)、浙江大學(xué)、吉林大學(xué)、南京航空航天大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)等先后開展了超聲電機(jī)的研究，并取得了喜人的成果。http://www.dafoo.net