20世紀(jì)40年代，當(dāng)時(shí)的科學(xué)家發(fā)現(xiàn)了BaTiO3陶瓷材料（制備容易，可制成任意形狀、任意極化方向的元件），這一發(fā)現(xiàn)極大促進(jìn)了壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)的發(fā)展。1948年，Williams和Brown聯(lián)合申請(qǐng)了個(gè)“壓電馬達(dá)”專利。

 
1961年，日本的Bulova公司利用音叉的往復(fù)位移運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)鐘表的齒輪，誤差只有一分鐘，創(chuàng)造了當(dāng)時(shí)記錄。約10年后，Siemens和Matsushita公司聯(lián)合開發(fā)了一種直線作動(dòng)器，由于振幅小，無法獲得大的轉(zhuǎn)矩和轉(zhuǎn)速。1965年，蘇聯(lián)的Lavrinenko提出一種超聲電機(jī)并申請(qǐng)了發(fā)明專利，其原理是利用壓電板的振動(dòng)來驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子。
 
歸納出超聲電機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、低速大扭矩、單位體積能量密度大、能量轉(zhuǎn)換效率高、運(yùn)動(dòng)等特性。1973年，IBM公司的Barth提出了具有現(xiàn)代超聲電機(jī)原理的結(jié)構(gòu)方案，他是利用壓電元件使牛角楔形的振子產(chǎn)生振動(dòng)，通過楔形端面與轉(zhuǎn)子表面接觸，靠摩擦作用驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)。1975年，Vishnevsky等也提出了類似的超聲電機(jī)結(jié)構(gòu)方案。http://www.dafoo.net